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中科艾科米（北京）科技有限公司坐落于北京怀柔科学城，是一家专注于超高真空扫描探针显微镜（SPM）系统及相关部件的研发、设计及生产的公司。我们的核心技术来自于中国科学院物理研究所，团队在相关领域的科学研究及科研仪器设备的研制方面具有十多年的技术积累和扎实的基础，掌握目标仪器装备的多项核心技术和专利，具有完全自主的知识产权

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电子束加热蒸发源

EBE35A

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电子束加热蒸发源控制器

EBC100

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电阻式加热蒸发源

RHE35A

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温度控制器

TCA100

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多功能温度控制器

MTC110

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烘烤控制器

BC100

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针尖腐蚀仪

TEU100

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钛升华泵控制器

TSPC100

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高压放大器

HVA100

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分子束外延系统

CMP-MBE

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原子层沉积系统

ALD308

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超高真空变温STM系统

VT-SPM

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高通量PLD-低温STM联合系统

CombiPLD-LTSPM

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超高真空低温SPM-MBE联合系统

LT-SPM-MBE

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碱金属蒸发源

AME35A

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