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产品展示

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产品系列:

EBE35A1

主要特点:

超高真空兼容

蒸发温度不小于3000℃

精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,专利设计

内置挡板,不受空间限制完全打开

可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响

填料方便快速

 

主要应用:

表面科学 ,超薄膜层 ,多分子层,掺杂 ,样品制备,密接金属化


技术参数:

 EBE-drawing 450X450 cn.jpg

 

安装法兰

DN40CF(O.D. 2.75”)

烘烤温度

200℃

腔内直径

34mm

腔内长度

210 mm标准长度,

170mm~400mm 可选长度

源数量

1

样品类型

棒材,颗粒,粉末(可供坩埚)

冷却方式

内部水冷, 1L/min

束流监控范围

0.1nA~1mA

灯丝电流

0~7A (10mA step)

加速电压

0~2000V

最大功率

250W

束流发散度

±6°

蒸发温度

≥3000℃

坩埚尺寸

0.1cc, 0.15cc

坩埚材料

钨,钼,钽,石墨,

可定制其他材料

棒材尺寸

直径1~4 mm,

长度20~100mm

 

EBE PN CN.png

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