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产品展示

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产品系列:

Combi-LMBE-STM

主要特点:

原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征

特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃

可扩展系统结构设计,便于功能扩展

 

主要应用:

表面科学,超薄膜层,有机分子层,二维原子晶体,单原子磁性。


技术参数:

真空指标

STM 腔

真空度≤5×10-10 Torr

RTTA腔

真空度≤5×10-10 Torr

LMBE腔

真空度≤5×10-9 Torr

Load Lock腔

真空度≤10-7 Torr

Buffer腔

真空度≤1×10-6 Torr

LMBE 腔

LMBE成膜

腔体内基片

加热温度

稳定达到1000℃

样品台

四轴运动

X/Y移动范围:±5.5mm

Z轴移动范围:±12.5mm

自转分辨率:0.1度

靶托三轴运动

开环自转

闭环公转,分辨率 0.1度

Z轴运动范围:±40mm

6个1英寸靶位

 掩膜板两轴移动

           闭环绕轴转动,

           其中转动精度

               达到0.02度,

          (0.001度可选)

     直线运动范围:±10毫米

双极差分高压RHEED

能够实现在10-1   Torr量级气压环境下

的高能电子衍射(RHEED)的原位观测

SPM 腔

工作温度

低至6K

X/Y/Z样品

移动范围

 10×10×10mm,

1µm分辨率

分辨率

原子级别分辨率

Combi-LMBE-STM系统性能测试数据 


Combi data 2 cn.jpg

 

Combi- data cn.jpg

                                     

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该系统介绍已于《科学仪器评论》杂志上发表,点击获取原文