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产品展示

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产品型号:

LT-SPM-MBE

主要特点:

超高真空

液氦温区

新型潘式扫描探头,具备qPlus AFM功能

扫描探头: 模块化设计,易于维护

具有光学通道,适于光学实验

原位沉积

袖珍型进样室,快速进样

主要应用:


技术参数:

本底真空:<5×10-10mbar/torr,

最低工作温度:≤5K

粗移动范围X/Y/Z:2.5×2.5×8mm

低温恒温器容积:3.8L 液氦,15L 液氮

反射高能电子衍射:15KeV电子枪

MBE样品制备

1)样品变温处理范围:120K-RT冷却;RT-1450K加热

2)5轴样品运动自由度

  1. (1)X/Y轴:±12.5mm,手动

  2. (2)Z轴:50mm,步进电机

    (3)自转:±180°,手动

  3. (4)公转:持续旋转,手动

蒸发源: 最多 6个

  1. 1)5个 2.75″CF法兰口

  2. 2)1个 4.5″CF 法兰口

扫描探针显微镜

  1. 1)光耦和兼容

  2. 2)新型潘式STM+qPlus AFM探针头

  3. 3)扫描范围:

  4.     9.4μm×9.4μm×4.5μm @ RT

  5.     1.7μm×1.7μm×0.85μm @ 4.2K

  6. 4)分辨率:原子级分辨率

超高真空低温SPM-MBE系统资料下载


该系统介绍已于《科学仪器评论》杂志上发表,点击获取原文