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产品展示

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产品型号:

CMP-MBE

主要特点:

结构紧凑、操作简单、节约成本

主要应用:

薄膜制备


技术参数:

8英寸不锈钢球形真空腔体 

本底真空:<1×10-10 mbar

四轴样品台:

  X/Y: ±7.5mm; 精度: 50µm

  Z: 150mm; 精度: 100µm

  旋转: 360°, 精度 0.1°

  电子束加热至2000度

  辐射加热至1000度

  液氮冷却至-170度

蒸发源:最多5个  

离子枪:RBD IG2 离子枪, 配X-Y方向波纹管调节

系统尺寸: 1500×600×1750(mm)

可选项

   膜厚检测

   红外测温

   反射高能电子衍射