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产品型号:

ALD308

主要特点:

超高反应腔工作温度(高达400℃)

复杂管气路,可同时满足八种前驱体、两路氧化还原气路和三路载气要求

满足特殊样品(粉末)要求

适合低蒸气压固态金属源的高温鼓泡器设计,有利于提高实验重复性

全金属密封,适用于腐蚀性反应

实时测控气体流量

实时监测真空度

质量分析仪系统,原位分析气体成分

反应残留物热分解装置

主要应用:

薄膜制备以及催化


技术参数:

主腔体

  腔体尺寸: 内径40mm ×长度 980mm, 304SS

  工作温度: RT-400℃

  控温精度: ±1℃

前驱体运输 

  4个低温前驱体源 (RT-100℃): [(CH3)3Al]2, [(CH3)3Ge]2, H2O etc

  4个高温前驱体源 (RT-250℃): Fe(Cp)2, Precious Metal Precursors

控温精度 : ±1℃

气体流量控制: 5 gas flow controllers, 0-500 sccm

阀门控制精度: 15 ms

载气: N2, Ar

反应气: O2/O3, H2