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产品展示

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产品型号:

CombiPLD-LTSPM

主要特点:

首台高通量制备及原位电子态表征系统

原创的高通量连续梯度组分薄膜生长技术

可扩展系统结构设计,便于功能扩展

特殊设计的SPM探头,实现厘米级XY样品移动和微米级高精度定位

专利的定位样品托设计,工作温区覆盖液氦至1000℃

主要应用:

高通量制备及原位电子态表征


技术参数:

真空指标

  STM 腔:真空度≤5×10-10 Torr.

  RTTA腔:真空度≤5×10-10 Torr.

  LMEB腔:真空度≤5×10-10 Torr.

  Load Lock腔:真空度≤10-8 Torr.

  Buffer腔:真空度≤1×10-6 Torr.

LMBE 腔

  LMBE成膜腔体内基片加热温度:稳定达到1000℃,在0.5Torr量级的氧气分压下

  样品台四轴运动

    X/Y移动范围: ±5.5mm

    Z轴移动范围: ±12.5mm

    自转分辨率0.1度

  靶托三轴运动

    开环自转

    闭环公转,分辨率 0.1度

    Z轴运动范围: ±40mm

  6个1英寸靶位

  掩膜板两轴移动

    闭环绕轴转动,其中转动精度达到0.001度

    直线运动范围±10 毫米

  双极差分高压RHEED

  能够实现在10-1 Torr量级气压环境下的高能电子衍射(RHEED)的原位观测

STM 腔

  工作温度: 低至 5K;

  X/Y/Z样品移动范围: 10mm×10mm×10mm, 1µm 分辨率;

  分辨率: 原子级别分辨率