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产品展示

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产品型号:

RHE35A

主要特点:

1)超高真空兼容

2)内置挡板

3)高效的专利水冷设计

4)多角度安装

5)可拆卸坩埚设计,快速更换添加样品

6)高重复性

主要应用:

样品制备、薄膜生长、MBE蒸发系统


技术参数:

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1)安装法兰: NW35CF (CF2.75″)

2)腔内直径: 34mm

3)腔内长度: 130mm&210mm 标准长度, 130mm-400mm 可选长度

4)烘烤温度: 200℃

5)源数量: 1

6)冷却方式: 内部水冷

7)坩埚材料: 99.8% Al2O3(可选金属坩埚)

8)坩埚容量: 0.57cc, 1.0cc, 1.91cc

9)最高工作温度: 1200℃

10)灯丝类型: 钨丝/钽丝

11)温度测量: K型热偶

12)温度稳定性: ±0.1℃


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