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产品展示

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产品系列:

RHE-L

主要特点:

超高真空兼容

高效的水冷设计

低温下精确控温

坩埚容积最大可达155cc

 

主要应用:

MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域


技术参数:

LTC1 Cn.png

安装法兰

DN63CF (O.D. 4.5'' ),

DN100CF (O.D. 6.0'' )

腔内长度

250~580mm 可选

腔内直径

56mm, 95mm

工作温度

最高400℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶

烘烤温度

250℃

源数量

1

坩埚材料

石英, 氧化铝, 热解氮化硼,

可定制其他材料

坩埚容积

60cc, 155cc

冷却方式

一体式水冷

挡板


LTC PN Cn.png

 

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