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产品展示

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产品系列:

CMP-MBE

主要特点:

结构紧凑、操作简单、节约成本

主要应用:

表面科学,超薄膜层,有机分子层。


技术参数:

1)8英寸不锈钢球形真空腔体 

2)本底真空:<1×10-10 mbar

3)四轴样品台:

  (1)X/Y: ±7.5mm; 精度: 50µm

  (2)Z: 150mm; 精度: 100µm

  (3)旋转: 360°, 精度 0.1°

  (4)电子束加热至2000℃

  (5)辐射加热至1000℃

  (6)液氮冷却至-170℃

4)蒸发源:最多5个  

5)离子枪:RBD IG2 离子枪, 配X-Y方向波纹管调节

6)可选项

   (1)膜厚检测

   (2)红外测温

   (3)反射高能电子衍射


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